在电子工业领域，洁净厂房的环境条件对电子产品的质量和性能起着决定性作用。为确保生产环境符合严格要求，需要对一系列关键项目指标进行检测。电子工业洁净厂房检测项目指标包括哪些？

　　电子工业洁净厂房检测项目指标

　　1.空气洁净度：

　　这是电子工业洁净厂房的核心检测指标。依据国际标准ISO14644-1以及国内GB50073-2013等规范，洁净度从ISO1至ISO9划分不同等级，以每立方米空气中特定粒径的最大允许粒子数来界定。比如在半导体制造中常见的ISO5级（百级）洁净室，每立方米空气中≥0.5μm的粒子数需≤3520个。

　　检测时，通常使用激光粒子计数器，在静态（设备未运行、人员未活动）和动态（设备正常运行、人员正常操作）两种工况下进行测量。按照标准，检测点数量依据洁净面积通过公式N=√A（A为洁净面积，单位㎡）计算，且总数不少于2个点。采样量保证每点单次采样至少2L，检测高度一般距地面0.8-1.2m。对于关键工艺区域，如光刻机周边等，还需加密检测点位，可能设置3-5个连续监测点。

　　2.风速与风量：

　　对于单向流洁净室，需着重检测风速均匀性，要求平均风速维持在0.45±20%m/s。一般在距离高效过滤器0.3m处布置测点，测点间距不大于0.6m，且测点总数不少于5个，通过测量各点风速并求平均值来计算风量。非单向流洁净室则主要检测风量以计算换气次数，例如ISOClass8级洁净室要求换气次数≥20次/h。

　　检测风速可采用热式风速仪、超声波风速仪或叶轮式风速计等，风量检测可使用风量罩法，即通过风量罩捕集从终端过滤器或送风散流器流出的空气，再根据风量罩出风的风速乘以有效面积得出风量。

　　3.气流流型：

　　通过烟雾发生器等工具观测气流轨迹，查看洁净室内气流是否顺畅，确保无逆流、涡流现象。在单向流洁净室中，气流应保持平行且稳定地流向工作区域；非单向流洁净室也需保证气流能够有效混合并带走污染物，维持室内洁净度。

　　4.温湿度：

　　电子产品生产对温度和湿度极为敏感。通常情况下，洁净厂房温度需控制在18-26℃，相对湿度保持在45%-65%。例如，在芯片制造过程中，湿度控制不当可能导致芯片引脚氧化，影响产品性能；温度波动过大则可能影响光刻精度。使用高精度温湿度计在洁净室内多点布置进行监测，确保温湿度在规定范围内稳定运行。

　　5.静压差：

　　不同空气洁净度等级的洁净室（区）之间以及洁净室（区）与非洁净室（区）之间需保持一定的空气静压差，一般不应小于5Pa；洁净室（区）与室外大气的静压差不应小于10Pa。利用微压差计测量各区域之间的压差，保证气流从高洁净度区域流向低洁净度区域，防止污染物扩散。

　　6.噪声：

　　过高的噪声可能干扰操作人员工作，甚至对一些高精密设备产生影响。洁净厂房内噪声一般要求≤65dB(A)。运用声级计在工作区域进行多点测量，取平均值作为噪声检测结果。

　　7.照度：

　　为保证操作人员能够准确进行生产操作，洁净室内操作面照度需达到300-600lx。采用照度计在工作区域均匀布点测量，确保光线充足且分布均匀。

　　8.过滤器检漏：

　　洁净厂房的高效过滤器是保证空气洁净度的关键设备。采用粒子计数器法或光度计法对高效过滤器进行扫描检漏。粒子计数器法需在上风侧测定大气尘的微粒数（检测高效过滤器时，大于或等于0.5μm微粒浓度需≥3.5×10⁴粒/L；检测超高效过滤器时，大于或等于0.1μm微粒浓度需≥3.5×10⁶-3.5×10⁷粒/L），并在距过滤器表面2-3cm处扫描；光度计法则通过人工发尘（如DOP），当下游体积分数超过上游体积分数(10⁻⁴)时判定为漏。

　　9.自净时间：

　　指洁净室从污染状态恢复到正常洁净状态所需的时间。在模拟一定污染条件下，通过检测洁净室内空气洁净度随时间的恢复情况来确定自净时间，以评估洁净室空气净化系统的能力。