洁净室环境检测是指对洁净室内的空气质量、微粒污染水平、温湿度等参数进行测量和评估的过程，确保该环境满足特定工业或科研活动的严格标准。洁净室，也称为无尘室，是一个特别设计的封闭空间，其内部空气、悬浮微粒、细菌和其他污染物被控制在极低的水平。

　　洁净室环境监测国标要求及项目内容

　　一、依据国标GB50073-2013《洁净厂房设计规范》，洁净室检测项目标准要求如下：

　　‌1)风速或风量的检测

　　（a）单向流洁净室：距离高效过滤器0.3m，间距不大于0.6m，不少于5点，测风速，求平均，算风量。

　　（b）非单向流洁净室：测风量，算换气次数。参照GB50243-2016《通风与空调给出施工及验收规范》

　　2)静压差的检测

　　（a）门应全部关闭

　　（b）压差计灵敏度应小于1Pa。

　　3)安装后过滤器泄漏检测

　　（a）光散射气浮微粒测定仪的流量应大于1L/min；

　　（b）颗粒度不小于0.1μm（0.5μm）；颗粒浓度大于3.5×107pc/m3；距离过滤器表面2～3cm；扫描速度5～20mm/s。

　　（c）对于高效过滤器不大于出厂合格穿透率的2倍，对于超高效过滤器不大于出厂合格穿透率的3倍。

　　4)不同等级洁净室的连通孔洞的风速应大于0.2m/s。

　　5)洁净度的检测

　　（a）光散射气浮微粒测定仪的流量应大于1L/min，并具备有效的标定合格证；

　　（b）采样点离地0.8m；

　　（c）每个采样点的每次采样量按ISO14644的要求；

　　（d）仅有一个采样点时，至少采样3次。

　　二、依据国标GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》，洁净室（区）性能测试项目的标准要求如下：

　　1）风速和风量的检测

　　对于单向洁净室，应离高效过滤器300mm。

　　2）静压差的检测

　　检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。应由里向外按顺序检测。

　　3）空气过滤器安装后的检漏

　　微粒仪的流量应大于1L/min。应在过滤器的上风侧引入不小于0.1μm（或0.5μm）的微粒，其浓度应大于3.5×107pc/m3。微粒仪距离滤器表面20～30mm处等速采样，并以5～20mm/s速度扫描。

　　4）洁净度的检测

　　最少采样点和每次最少采样量与ISO14644基本相同。

　　5）温度和湿度的检测

　　检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应取工作高度，距吊顶、墙和地面不少于300mm。

　　6）噪声的检测

　　每100m2设一个检测点。检测点距地面1.1～1.5m,距墙大于3m。

　　7）照度的检测

　　检测点为工作高度，宜距地面0.85m,每25m2设一个检测点。