洁净室静压差检测方法有哪些

27次 2025.07.24

  随着医药、电子、生物等行业对环境洁净度要求的升级,如芯片制程从微米级向纳米级突破,生物药对微生物污染零容忍,对静压差的稳定性、精确性提出了更高要求,倒逼企业通过系统检测确保压差符合生产需求。洁净室静压差检测是为了维持洁净室与相邻区域的压力梯度,防止污染物交叉扩散,保障室内环境洁净度的关键环节。


洁净室静压差检测


  洁净室静压差检测方法步骤


  (1)检测条件:


  洁净室的送风机、回风机、排风机等设备应处于正常运行状态,且已按照设计要求运行足够长时间,使室内的压力和气流状态趋于稳定。一般情况下,系统连续运行时间不应少于1小时。


  洁净室内的所有门应处于关闭状态,以避免门的开启对室内静压差造成干扰,保证检测环境的稳定性。


  与洁净室相关的其他区域(如非洁净室、室外等)的环境状态也应保持稳定,避免因外部环境的剧烈变化影响检测结果。


  (2)检测方法步骤


  首先确定检测的位置和顺序。通常先检测洁净室与室外的静压差,然后检测洁净室与非洁净室之间的静压差,最后检测相邻不同洁净度级别洁净室之间的静压差。


  将微压计的正压接口用软管连接到压力较高一侧的室内,负压接口用软管连接到压力较低一侧的区域(如非洁净室、室外或相邻低洁净度级别洁净室)。连接时要确保软管连接紧密,无泄漏现象,以免影响压力测量的准确性。


  待微压计的读数稳定后,记录下此时的压力差值。每个检测点应至少读取3次数据,取其平均值作为该点的静压差检测结果。


  按照确定的检测顺序,依次对所有需要检测的位置进行检测,并详细记录每个检测点的位置和对应的静压差数据。


  (3)结果处理与判定


  对每个检测点的多次读数进行平均计算,得到该点的静压差实测值。


  将实测值与相应的标准要求进行对比,判断其是否符合规定。如洁净室与非洁净室之间的静压差应大于10Pa,若实测值大于等于10Pa,则判定该检测点合格;反之,则不合格。


  对于不合格的检测点,应分析原因并采取相应的措施进行调整,如调节送风量、回风量或排风量等,然后重新进行检测,直至洁净室静压差检测符合标准要求。


联系我们 CONTACT US
  • 电话:400-133-6008

    地址:广州市天河区兴科路368号(天河实验室)

    广州市黄埔区科学城莲花砚路8号(黄埔实验室)

    邮箱:atc@gic.ac.cn